检查装置气密性的方法 气密性检查的三种方法

在科技设备领域，特别是涉及到半导体设备，气密性是确保设备正常运行和达到预期效果的关键因素。对于含有易燃易爆、腐蚀性或有毒气体的环境，维持良好的气密性更是安全运行的基石。

气密性检测方法

利用皂泡法对接口进行检漏时，需在管路内施加一定压力的示漏气体。在疑似漏孔处涂抹肥皂液，若形成肥皂泡，则说明存在泄漏。专业规范的测试还可以借助气体泄漏检测喷剂进行。

图示：皂泡法操作过程

当容器或管道充满气体时，若有微小漏孔，尤其是当雷诺数较高时，冲出的气体将形成湍流。这种湍流会激发漏孔附近的声波，其振动频率与漏孔大小密切相关。人耳可以辨识较大的漏孔声，而微小漏孔产生的空载超声波则能在空气中传播。

图解：超声波检漏仪的工作原理

利用热成像技术，我们可以在漏孔处捕捉到气体逸出或进入时造成的热胀冷缩效应，从而观察到局部温度变化，进而找到漏孔位置。这种方法常用于暖气或冷媒管道的泄漏检测。

图示：温枪在泄漏检测中的应用

卤素气体如氯仿、四氯化碳等，当它们通过漏孔进入检测腔室时，卤素检漏仪能够迅速捕捉到。还可以将卤素气体直接充入腔室，使用吸枪和检漏仪组合检测可能泄漏的位置。

插图：卤素气体检测仪的操作示例

类似于卤素气体正压检漏，使用氦气填充腔室或管路，然后利用氦检吸枪在可能泄漏的地方进行检测。这种方法能够有效地检测出氦气的泄漏。

图解：氦检吸枪法的操作流程

对于需要真空检测的腔室或管路，我们采用氦检漏仪连接排气管路。往可能泄漏的地方喷氦气，当氦气进入腔室通过漏孔时，检漏仪内的质谱仪能够捕捉到。对于小容积的腔室，可以直接使用氦检仪进行抽真空操作。而对于大容积的腔室，需要先使用速真空泵进行预抽真空，再利用氦检仪进行精确检测，以提高效率并缩短抽真空时间。

为确保漏率检测的准确性，在喷氦气时需确保待测腔室与速真空泵断开，以防止一部分氦气被辅助真空泵抽走，导致测得的漏率偏小。

图示：真空法氦检的操作过程

对于管路或腔室的密封性测试，我们可以将其充满空气或其他气体，然后将可能泄漏的地方放入水中。若出现气泡，则说明存在漏气现象。

图示：气泡法的操作方法

对于水管等设备的密封性测试，通常会向其中充水并关闭进出水口阀门，然后保压一定时间来观察压降情况。我们还会进行压升测试，即对腔室或管道进行抽真空操作并观察压力的上升情况。